超高精密氣體主軸(下稱主軸)可作為超精密機(jī)械加工數(shù)控車床或高精度計(jì)量儀器的主軸系統(tǒng)軟件耙册。主軸選用專業(yè)的汽體負(fù)壓技術(shù)性簇友，切向滾動軸承和雙重推力軸承的各工作臺面均為負(fù)壓汽浮面，且通過嚴(yán)謹(jǐn)?shù)霓D(zhuǎn)子動平衡睁衰，因此完成了非觸碰的高精度旋轉(zhuǎn)，具備無震動塌纯，低噪聲的特性蝴趾。

因?yàn)槌錃饽S系零件加工偏差的均值功效，因此軸系安裝后的旋轉(zhuǎn)精度可以高過零件精度隆肪。對主軸關(guān)鍵性能指標(biāo)——主軸切向旋轉(zhuǎn)精度規(guī)定做到低于0.1μm愿味。那樣高精度的指標(biāo)值，即使生產(chǎn)加工出來怀樟，也無法測量出它的精度功偿，因此給測量產(chǎn)生了很大的艱難。根據(jù)兩年的探索往堡，科學(xué)研究械荷，總算用雙重屬七和弦法測到了主軸切向旋轉(zhuǎn)精度(0.07μm)。現(xiàn)將測量法詳細(xì)介紹給閱讀者虑灰。

1　檢驗(yàn)

1.1　檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)

工作溫度：20±1℃　每鐘頭轉(zhuǎn)變：<0.1℃

空氣濕度：30%～60%

被測主軸在恒溫室內(nèi)恒溫時(shí)間不少于24h;

被測主軸與規(guī)范工具的溫度差不得超過0.2℃;

被測主軸需安排在減振基本上吨瞎，周邊無強(qiáng)烈震動和沖擊性;氣路工作壓力平穩(wěn)在0.4±0.02MPaq

1.2　檢驗(yàn)用儀器設(shè)備和器材

①　TESA電感器測微儀(法國)(屏幕分辨率0.01μm)